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石墨碳氈東海石墨ATDJ-05石墨硬氈ATDJ-05，該涂層能夠提高產品質量， 極大的延長部件使用壽命。用于氫化爐的部件，CZ裝置的導流筒和用于 PECVD, MOCVD裝置的晶片載體。

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